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商品参数：
适用星级:所有星级|槽数:定制|工作方式:自动|功率:可定制|规格:湿法腐蚀清洗系统|类型:湿法腐蚀清洗系统|适用领域:电子行业,医疗行业,建筑工程,国防工业,光学行业,工业生产|用途:商用,家用|品牌:鲁超|型号:湿法腐蚀清洗系统|加工定制:是
商品介绍：
主要特点：成熟的模块化工艺组合可面向用户工艺需要，定制化设计已应用于20nm级别IC工艺线针对LED生产线，提高整体解决方案全自动清洗/手动清洗可选整机防漏液设计广泛应用于Ic、MEMS、LED、PV、电力电子、半导体材料等行业标准配置：高纯进口板材高结晶工艺管道高洁净气动阀门防腐机械手伺服电机驱动人机对话界面，触摸屏操作标准工艺模块SC-I溶液腐蚀槽SC-II溶液腐蚀槽SC-III溶液腐蚀槽QDR槽循环清洗槽超声/兆声清洗槽可选模块：鼓氮水溶超声/水浴兆声槽槽内加热/制冷循环漏液检测水阻检测自动供液系统自动配液系统自动灭火系统（有机清洗）ESD功能（有机清洗）MES接口（可选） |
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